HVA 高真空閘閥應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)

因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
hva高真空閘閥應(yīng)用于 oled 鍍膜機(jī)oled 鍍膜機(jī)主要面向半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定, 器件效率高, *,hva高真空閘閥應(yīng)用一般科研用鍍膜機(jī)的基片尺寸在 4”和6”大小, 本底真空度要求達(dá)到 5*10-7mbar 或 5*10-8mbar, 這時(shí)需要配置分子泵系統(tǒng)或低溫泵系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)高真空度的需求, 所以對(duì)于生產(chǎn) oled 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會(huì)選擇在 loadlock 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加高真空閥門(mén)來(lái)隔離系統(tǒng).有時(shí)科研設(shè)備并不配置 loadlock, 但出于泵組快速抽空或方便檢修要求, 還是會(huì)根據(jù)分子泵的進(jìn)氣口徑來(lái)配置高真空閥門(mén)隔離系統(tǒng). 上海伯東美國(guó) hva 真空閥門(mén)已廣泛應(yīng)用于 oled 鍍膜機(jī)上圖是某 oled 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國(guó) hva 高真空閘閥, 我司根據(jù)鍍膜系統(tǒng)的自動(dòng)化要求, 配置 hva 11000 系列尺寸以 4”, 6”, 8”閥門(mén)口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動(dòng)高真空閘閥,
上海伯東美國(guó)hva高真空閘閥11000系列產(chǎn)品
閥門(mén)材質(zhì):
- 閥門(mén)主體
304 不銹鋼
- 焊接波紋管軸封
am - 350
閥門(mén)密封方式
- 高真空
氟橡膠
- **高真空
銅墊圈 / 氟橡膠
真空:
- 壓力范圍
高真空 1x10-9mbar, **高真空 1x10-10mbar
- 漏率
< 2x10-9mbar l/s
- 差壓關(guān)閉
1 bar ( 任意位置 )
- 開(kāi)啟前大壓力
≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
- 佛橡膠密封
150 °c, 可選配置大 250 °c
- 銅墊圈密封
閥門(mén)關(guān)閉 200 °c, 閥門(mén)打開(kāi) 150 °c
- 驅(qū)動(dòng)方式
手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c
- 氣體
80 psig (5.5 bar)
- 電磁
4.0 watts
- 供電
120 vac 50 /60 hz
- 可選電壓
24, 200, 240 vac 50/60 hz或 12, 24 vdc
- 位置指示器,大
115 vac或 28 vdc, 20 ma
使用壽命:100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定)
公稱通徑:dn 16 - 800 mm
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伯東企業(yè)（上海）有限公司專(zhuān)注于pfeiffer,氦質(zhì)譜檢漏儀,intest等