耀群科技股份有限公司

耀群代理美國HACH的Hiac,MetOne,Royco,ARTI及HYT微粒子計數器應用於無塵室,無塵室全廠微粒子落塵監控(FMS),純水,化學品,高壓氣體及製程設備等各種落塵,微粒子監控.並提供維修校正技術諮詢租借及遵循NEBB代測工程服務.
煩請轉寄相關部門單位如採購,製程,品保,廠務
作技術經驗的交流, 希望未來有機會為您繼續提供相關技術服務及合作!!
耀群科技目前所代理服務的產品如下：
A.美國HACH ULTRA ANALYTICS是全世界最大的微粒子偵測系統供應商，品牌包括MetOne、ROYCO、HIAC、HYT，
分別供應無塵室、室內空氣品質、高壓氣體、Hepa/Ulpa洩漏量測及監控系統(FMS)、DIW系統、化學品、
高粘度光阻及各式油品含潤滑液溶劑、真空製程設備CVD, Ion Implanter, Furnace, Plasma Etcher、
有關Particle量測等相關專業服務。
B. ESD靜電量測設備、TSI風速計、Rotronic and INS溫濕度計、……等。
C.無塵室NEBB代測、專業諮詢、儀器租借等服務。
D.美國Matec Applied Sciences超微粒徑分析儀提供最新的聲波檢測原理，Sample不需稀釋即可分析出準確的Particle Size，
提供各種不同的Particle分佈分析的模式，量測範圍從5nm-100um，適合用於CMP Slurny、Ceranincs、lnks、Phsrmaceutic..等。
E. NSK Motor Overhaul Service for Mirra CMP Machine Tool維修。
F.Helmke Drum RTC-3000 無塵衣發塵量測試漢姆克滾筒;符合IEST-RP-003規範。
G.測試擦拭布潔淨度Liquid Particle Counter
H.日本INTI ION Counter正負離子計數器測試各種環境下正、負離子的濃度與各種負
離子相關產品的離子產生數量,應用在觀察 正負離子在空氣中的 驗證。
F.Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System
美國Pentagon Technologies 的 QIII+ 應用于設備機臺( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 內Surface Particles 量測, 可降低產品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作臺面積臺表面潔凈度..等的驗證. 此已為目前機臺維護作業時的標準工具
耀群科技提供完整解決的方案，相信可以成為貴公司最好的技術顧問夥伴。