博為光電|精度高-真空箱氦檢漏系統價格-合肥真空箱氦檢漏系統
雙工位氦檢漏系統構成
(1)粗抽機組:一般采用旋片泵或者滑閥泵作為粗抽真空使用,獲得從一個大氣壓到千帕級真空,并為后續精抽真空作準備。
(2)精抽機組:一般采用羅茨泵作為精抽真空使用,獲得檢漏要求的真空,一般為5pa左右。
(3)檢漏儀:是檢漏系統中的部件,檢漏儀執行檢漏工作時,給出工件*量大小,并判斷工件是否合格,輸出控制信號。
(4)耐壓測試單元:通過向工件內充注高壓氣體,一方面測試工件的耐壓性能。另一方面通過平衡、保壓過程,有傳感器感測壓力差,并由控制系統經過計算分析判斷是否有大漏。
(5)工件抽空單元:為保證氦氣有循環過程中氦氣的純度,合肥真空箱氦檢漏系統,在向工件充注氦氣之前,抽出工件內的空氣。
氦質譜檢漏方法分析
氦質譜檢漏是以氦作探索氣體,對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。氦質譜檢漏法有優點在于:①氦是惰性氣體,對大氣*,使用安全;②氦原子質量小,黏度小,易滲透過可能存在的漏隙。③氦氣在大氣中含量小(5ppm),不易受干擾。④氦質譜檢漏儀檢測靈敏度高,速度快,適用范圍廣;
目前國內生產氦質譜檢漏儀小可檢漏率可達到5.0×10-12 pa·m3/s,如北京中科科儀生產的542檢漏儀。國外檢漏儀小可檢漏率高可達到5.0×10-13pa·m3/s,如德國inficon,真空氦檢漏系統,法國阿爾卡特等。
目前,國內外比較流行的針對空調兩器檢漏方法,多采用真空箱法。后續將著重介紹真空箱法檢漏在空調兩器檢測方面的應用。
背壓法氦質譜檢漏
采用背壓法檢漏時,首先將被檢產品置于高壓的氦氣室中,浸泡數小時或數天,如果被檢產品表面有漏孔,氦氣便通過漏孔壓入被檢產品內部密封腔中,真空箱氦檢漏系統價格,使內部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產品,將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產品放入與檢漏儀相連的真空容器內,真空箱氦檢漏系統哪家好,被檢產品內部密封腔內的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率,需要通過換算公式計算出被檢產品的等效標準漏率。
背壓法的優點是檢測靈敏度高,能實現小型密封容器產品的泄漏檢測,可以進行批量化檢測。
背壓法的缺點是不能進行大型密封容器的漏,否則由于密封腔體容積太大,導致加壓時間太長。此外,每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。
背壓法的檢漏主要應用于各種電子元器件產品檢漏
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