cs-4小型探針臺
cs-4小型探針臺
cs系列探針臺至多可用于6英寸以內(nèi)樣品測試;
可滿足i-v/c-v,piv測試,光電測試等。
特點(diǎn)/應(yīng)用
滿足i-v/c-v,piv測試,光電測試等
可用于6英寸以內(nèi)樣品測試
同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu),線性移動
可放置于手套箱內(nèi)使用
形狀輕巧,操作方便,價格實(shí)惠
探針臺-臺體規(guī)格
尺寸:4英寸/6英寸
水平旋轉(zhuǎn):可360度旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15度,精度0.1度,帶角度鎖死裝置
x-y移動行程:4英寸*4英寸
x-y移動精度:10微米
樣品臺z軸調(diào)節(jié):可升降10mm
樣品固定:真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán)
針座平臺:u型針座平臺,最多可放置6個探針座
背電極測試:樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空,4mm插孔可接背電極
外形尺寸:400mm長*400mm寬*500mm高
重量:約25千克
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型:單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率:16x-200x
移動行程:水平方向繞立柱360度旋轉(zhuǎn),z軸50.8mm
光源:外置led無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
ccd:200萬像素/500萬像素/1200萬像素
探針座
x-y-z移動行程:12mm*12mm*12mm
移動精度:10um/2um/0.7um/0.5um
吸附方式:磁力吸附/真空吸附
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pa/100fa/10fa
固定探針:彈簧固定/管狀固定
接頭類型:bnc/三同軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑:0.2um/1um/2um/5um/10um/20um
針尖材質(zhì):鎢鋼/鈹銅
可選附件
加熱臺、顯示器、轉(zhuǎn)接頭、射頻測試配件、屏蔽箱、光學(xué)平臺、鍍金卡盤、光電測試配件
可接受定制