NE-PE10納恩科技100L真空等離子清洗活化機
ne-pe10是一款小型真空等離子處理系統，廣泛應用于科研院校，企業研發單位和小批量生產打樣。設備采用進口品牌高性能旋片真空泵快速產生一個小于1-2 pa的真空壓強，同時根據客戶工藝要求，對真空反應腔室內通入不同的混合工藝氣體，采用進口高品質等離子發生器，使得通入的工藝氣體產生等離子體，并確保穩定產生高密度，高能量的離子。等離子體與材料發生復雜的物理，化學反應，可以實現不同的工藝功能，比如清洗，活化，刻蝕與涂敷等。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光。
設備原理示意圖：如上
ne-pe10 系統功能特點：
•耐用的高品質不銹鋼結構和固定裝置
•不銹鋼托盤設計，雙層處理空間
•8k鏡面不銹鋼腔體，卓越密封性
•數字高頻等離子發生器，產生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果
•plc+觸摸屏控制，過程參數實時監控
•方便定期校準設備連接驗證過程中使用的要求
•支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
•通過聯鎖門或可移動的板
•兩個標準的浮子針閥流量控制器
•性能卓越的雙極旋片泵，高抽速，壽命長，耐腐蝕
序號
項目
型號規格
參數
1
等離子體發生器
功率
0-300w可調
抗輻射干擾高頻匹配器
自動阻抗匹配
頻率
40khz
2
真空反應腔室
腔體材質
進口 316 不銹鋼，軍工級密封
腔體容積
10l
腔體尺寸
200(l)*200(w)*270(d)mm
電極數量
2個鍍金鋁合金專用電極+ 2個鋁合金托盤
托盤尺寸
w*d :180（w）×220（d）mm
處理層數
2層
絕緣陶瓷
進口高頻陶瓷
3
氣路控制
氣體流量控制器
浮子針閥流量控制器， 0-500ml
氣路數量
最小2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳等
4
真空測量
真空計
smc 真空計
5
抽氣系統
真空泵
飛越 16m3/h
極限真空度
0.1pa
真空管路
不銹鋼管路+氣動閥門
6
控制系統
觸摸屏
4.3寸
plc
松下plc模塊
軟件程序
自主專利設計等離子控制系統
7
場務條件
電源供應
220v
氣管接口
直徑8mm
氣體純度
99.99%
氣體壓力
0.3-0.6mpa
排氣口
kf25
8
整機參數
整機功率
1000w
外形尺寸
460（l）*460（w）*650（h）mm
(不含三色燈高度)
重量
60kg
