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特氣五項檢測的流程及意義

l壓力測試
目的在于保證管道系統或設備連接在設定測試壓力的條件下保持沒有泄露點。
壓力測試包括壓強測試和氣密性測試:
1)壓強測試,沒有壓降@規定壓力*30分鐘,測試壓力為使用壓力的1.2倍;
2)氣密性測試<=±1%壓降 @規定壓力*24小時,測試壓力為使用壓力的1.1倍;
測試的工具可以由以下方式進行:
1)壓力表讀數;
2)圓盤壓力儀;
壓力測試結果會受溫度的影響,在測試過程中要注意溫度的變化及對溫度的紀錄,如溫度偏差較大,則需要進行必要的補償修正計算。
l氦檢漏測試
目的在于保證管道系統焊道或設備連接在負壓作用下合乎漏率的要求。
氦檢漏測試目前有3種方式,針對我們特氣的系統,通常采用真空噴氦的方式。
測試儀器:氦檢儀
真空度漏率:cc.atm/sec或mbar.l/s
漏率的意義:
1.0*10-5cc.atm/sec1 cc/day
1.0*10-7cc.atm/sec3 cc/year
1.0*10-9cc.atm/sec3 cc/100year
通常特殊氣體的漏率我們要求在1.0*10-9cc.atm/sec以上;
氦檢測試完成后,對工藝管道進行充壓,以避免系統負壓吸入大量不純物;充壓氣體為高純氣體,回充后壓力宜為10~15psi,這時才可以斷開被測管道。
l顆粒測試
目的在于保證管道系統或設備的內壁或者死角無影響制程的顆粒雜質。
顆粒測試的原理:被測氣體通過測試儀器時,如果氣流中有顆粒(該顆粒在測試儀器可以監控的范圍內),測試儀器會通過內部的產生的激光照射該取樣氣體,再通過內部的計數裝置進行分類計數,從而得出該取樣氣體的顆粒測試值。
測試儀器顯示的測試規格值有8個(um):0.1,0.2,0.3,0.5,1.0,2.0,3.0,5.0;
測試取樣:0.1scfm;(10分鐘/次)
測試值單位:?pcs/scf >?μm
顆粒測試值取增量,所以對吹掃氣源有一定的要求。
l水分氧分測試
目的在于保證管道系統或設備的內壁或者死角無影響制程的水分和氧分。
高純系統的水分和氧分測試的單位:ppb(10-9),即每立方米被測試氣體中只有十億分之一立方米被測不純物;
不純物測試過程中,當測試顯示值合乎測試標準并保持20分鐘不變或者持續穩定下降,則可以認定合格。如果測試顯示值仍然在上升,即使顯示值規定值也不能認定合格。
水分和氧分測試值取增量,所以對吹掃氣源有一定的要求。
水分測試取樣氣體的流量為200sccm,測試儀器開機后需要升溫到60℃采能正常工作(這時一個波動的過程);
氧含量測試取樣氣體的流量為1slpm。
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