吉致電子JEEZ射頻濾波器拋光液 半導(dǎo)體拋光液
無(wú)錫吉致電子25年研發(fā)生產(chǎn)——射頻濾波器拋光液 /半導(dǎo)體拋光液 /cmp拋光液/cmp化學(xué)機(jī)械拋光液/射頻濾波器slurry/射頻濾波器cmp化學(xué)機(jī)械拋光液slurry/射頻濾波器cmp集成電路拋光液/射頻濾波器拋光液拋光漿料slurry
產(chǎn)品名稱(chēng):射頻濾波器拋光液/半導(dǎo)體拋光液/cmp化學(xué)機(jī)械拋光液
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:射頻濾波器拋光液適用于集成電路當(dāng)中的銅互連工藝制程中銅的去除和平坦化。
具有高的銅去除速率,碟型凹陷可調(diào),低缺陷等特性。可應(yīng)用于邏輯芯片以及3d nand和dram芯片等量產(chǎn)使用。清除集成電路中銅拋光后表面的拋光顆粒和化學(xué)物殘留,以防銅表面腐蝕,降低表面缺陷。
我司產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn):
1.懸浮性好,不易沉淀,使用方便。
2.顆粒分散均勻,不團(tuán)聚,軟硬度適中,有效避免拋光過(guò)程中由于顆粒團(tuán)聚導(dǎo)致的工件表面劃傷缺陷。
3.運(yùn)用拋光過(guò)程中的化學(xué)新作用,提高拋光速度,改善拋光表面的質(zhì)量。
4.分散性好、乳液均一,程度提升拋光速率的同時(shí)降低微劃傷的概率,可以提高拋光精度。
5.無(wú)粉塵產(chǎn)生,關(guān)注環(huán)保和人體健康安全。
可定制化:我們的拋光液可以根據(jù)客戶(hù)需求定制不同的ph、粒徑、濃度、穩(wěn)定離子等。
包裝方式:25kg/桶(也可依客戶(hù)需求)