智庭科技TMM-2107 手動(dòng)測(cè)量金相顯微鏡工具顯微鏡廠家直發(fā)

1.儀器主機(jī)說(shuō)明
tmm-2107是我司針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)推出的一款高性能的手動(dòng)測(cè)量金相顯微鏡，結(jié)合公司多年影像測(cè)量和掃描的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，以及自主研發(fā)的三維測(cè)量掃描軟件，將設(shè)備的高性能的特點(diǎn)發(fā)揮到**。
l選用高清品牌相機(jī)，措載soptop高端金相系統(tǒng)，整體成像清晰無(wú)閃爍，視場(chǎng)開(kāi)闊。
l物鏡可切換多種倍率：5x,10x,20×,50x(選配)100×(選配),**綜合倍率**可達(dá)
2000倍以上。
l標(biāo)配反射和透射led可程控光源或非程控鹵素光源。
l利用可變孔徑光闌，可進(jìn)行無(wú)衍射觀察測(cè)量。
l單視野范圍內(nèi)測(cè)量精度±1μm,重復(fù)精度±0.5μm加裝光譜共焦位移傳感器可測(cè)高度、
深度、平面度，測(cè)量精度±1μm。
l可根據(jù)客戶需求，訂制各種尺寸工作臺(tái)，目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作臺(tái)。
l有精調(diào)/微調(diào)兩種模式，便于**聚焦和觀察測(cè)量，快速定位焦面。
l可根據(jù)客戶要求加配超長(zhǎng)工作距離apo物鏡，激光測(cè)頭各種規(guī)格攝像機(jī)以及更高精度光
柵等(光尺**選配0.01μm)。
l自主研發(fā)金相測(cè)量軟件，頁(yè)面簡(jiǎn)潔大氣，操作方便易上手，可適高精度要求的復(fù)雜工件
測(cè)量。
2.技術(shù)參數(shù)
掃描范圍
xyz三軸移動(dòng)范圍（mm）
200*100*70
外形尺寸（mm）
520*530*740
玻璃臺(tái)面尺寸（mm）
245*145
臺(tái)面承重（kg）
25
儀器凈重（kg）
100
光學(xué)影像及測(cè)量系統(tǒng)
光學(xué)系統(tǒng)
無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差金相顯微光學(xué)模組（3目）
金相顯微物鏡倍率
5x
10x
20x
視頻總放大倍率
241.5x
483x
966x
雙目目鏡倍率
標(biāo)配10x目鏡（視場(chǎng)數(shù)φ22mm），也可選配20x目鏡
物方工作距離(mm)
26.1
20.2
8.8
物方視場(chǎng)(mm)
1.47*0.98
0.735*0.49
0.368*0.245
照明光源
上光：led同軸落射冷光源（程控調(diào)光）
底光：led平行冷光源（程控調(diào)光）
輔光: led光源（程控調(diào)光）
攝像機(jī)
hikvision 500萬(wàn)像素高清彩色數(shù)字相機(jī)
示值誤差（μm）
單視野
±1
xy行程范圍
2.5+l/200
重復(fù)精度（μm）
單視野
±0.5
xy行程范圍
2.5
xyz光柵分辨力（μm）
1
掃描測(cè)量軟件
ztvision-m(擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán))
其他選配件
光譜共焦位移傳感器、激光位移傳感器、自動(dòng)變倍金相顯微模組等
電腦
聯(lián)想e95/g3930/4g/1t/集成
工作電源
ac200-240v 50/60hz450w（注：需有電阻≤4ω接地線）
工作環(huán)境
溫度20±2℃,相對(duì)濕30%-80%,振動(dòng)＜0.002g，低于15hz，遠(yuǎn)離振源