CDE-四點探針電阻儀-ResMap 178
cde-四點探針電阻儀-resmap 178
產品型號:resmap 178
產品介紹:cde 的成立旨在為半導體及相關開發和制造高性能、高性價比的晶圓計量工具。cde resmap是一系列適用于各種應用的自動電阻率測繪系統。4點探針測量工具是一種儀器,用于測量導電介質(通常是半導體應用的薄膜)中的薄層電阻(或rs)。resmap model 178已成為成本效益電阻率測量的行業標準。該四點探針旨在滿足工藝開發和工具表征工程師的需求,具有所需的準確性、可重復性和可靠性。其龐大的安裝群證明了其性能、易用性和低擁有成本。
性能特點:
可靠性
易用性
參數:
產地:美國
晶片處理:手動裝載
晶圓尺寸:2英寸至8英寸
尺寸:12英寸x 19英寸x 10英寸
精度:<±0.5%
重復性:0.02%靜態,0.1%動態
較小邊緣排除:<1.5mm
是否進口:是
封裝:廠家制定
性能:良好
可靠性:高
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