HVA 真空閥門應用于E-Beam鍍膜機

某sputtering + e-beam pvd鍍膜機系統采用hva真空閥門11000, hva真空閥門安裝在分子泵口便于泵的檢修,同時外系統停機時不破壞系統真空,只要對泵內部進行破真空即可.
hva不銹鋼真空閘閥11000系列標準技術規格:
閥門材質:
-閥門主體
304不銹鋼
-焊接波紋管軸封
am - 350
閥門密封方式
-高真空
氟橡膠
-高真空
銅墊圈/氟橡膠
真空:
-壓力范圍
高真空1x10-9mbar,高真空1x10-10mbar
-漏率
< 2x10-9mbar l/s
-差壓關閉
1 bar (任意位置)
-開啟前大壓力
≤30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）:
-彈性體密封閥蓋
150°c
-金屬密封閥蓋
-開啟溫度：200°c
-關閉值：150°c
-驅動方式
手動60 °c,氣動60 °c
機制
手動：
手搖曲柄
電磁閥供電電壓
120 vac 50 /60 hz
電磁閥可選電壓
24, 200, 240 vac 50/60 hz或12, 24 vdc
電磁閥位置指示器,大
115 vac或28 vdc, 20 ma
氣動送風：
80 psig
使用壽命:100,000啟閉次數(具體視實際使用情況決定)
公稱通徑:dn 16 - 800 mm
e-beam鍍膜機設備組成:系統主要由蒸發室,電子,進樣室(可選) ,旋轉基片加熱臺,工作氣路,抽氣系統,真空測量,電控系統及安裝機臺等部分組成.
基片在做實驗般需要做鍍前預處理,鍍前預處理的目的是為了得到干凈新鮮的金屬表面,為后獲得高質量鍍層作準備,要進行脫脂,去銹蝕,去灰塵等工作,也有客戶在loadlock腔進行射頻反應清洗,通過使用上海伯東kri離子源將基片的表層打掉,得到光滑和均勻的表面.
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伯東企業（上海）有限公司專注于pfeiffer,氦質譜檢漏儀,intest等