潔凈廠房設計規范
潔凈廠房設計規范
空氣潔凈度等級
*2.0.1條 空氣潔凈度應按表2.0.1規定劃分為四個等級。
空氣潔凈度 表2.0.1
┌────┬──────────┬─────────┐
│等級 │每立方米(每升)空氣│每立方米(每升)空│
│ │中≥0.5微米塵粒數 │氣中≥5微米塵粒數 │
├────┼──────────┼─────────┤
│100級 │≤35×100(3.5) │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000級 │≤35×1000(35) │≤250(0.25) │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000級│≤35×10000(350) │≤2500(2.5) │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000級│≤35×100000(3500)│≤5000(25) │
└────┴──────────┴─────────┘
注: 對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內大于等于5微米塵粒的計數,應進行多次采
樣,當其多次出現時,方可認為該測試數值是可靠的.
*2.0.2條 潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗,應以動態條件下測試的塵粒
數為依據。潔凈室空氣潔凈度的測試,應符合附錄二規定。
遠程在線環境監控系統、塵埃粒子計數器、浮游菌采樣器、風量儀、過濾器檢漏、泄壓閥(壓縮空氣質量檢測儀)、氣流流行檢測儀(煙霧發生器)、氣溶膠發生器、氣溶膠光度計、溫濕度壓差測試儀,臭氧濃度儀、風速儀、聲級計、照度計、壓差表(計)等
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