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潔凈廠房設計規范

潔凈廠房設計規范
空氣潔凈度等級
*2.0.1條 空氣潔凈度應按表2.0.1規定劃分為四個等級。
空氣潔凈度 表2.0.1
┌────┬──────────┬─────────┐
│等級 │每立方米(每升)空氣│每立方米(每升)空│
│ │中≥0.5微米塵粒數 │氣中≥5微米塵粒數 │
├────┼──────────┼─────────┤
│100級 │≤35×100(3.5) │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000級 │≤35×1000(35) │≤250(0.25) │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000級│≤35×10000(350) │≤2500(2.5) │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000級│≤35×100000(3500)│≤5000(25) │
└────┴──────────┴─────────┘
注: 對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內大于等于5微米塵粒的計數,應進行多次采
樣,當其多次出現時,方可認為該測試數值是可靠的.
*2.0.2條 潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗,應以動態條件下測試的塵粒
數為依據。潔凈室空氣潔凈度的測試,應符合附錄二規定。
遠程在線環境監控系統、塵埃粒子計數器、浮游菌采樣器、風量儀、過濾器檢漏、泄壓閥(壓縮空氣質量檢測儀)、氣流流行檢測儀(煙霧發生器)、氣溶膠發生器、氣溶膠光度計、溫濕度壓差測試儀,臭氧濃度儀、風速儀、聲級計、照度計、壓差表(計)等
吳江經濟技術開發區蘇源智控儀器儀表貿易商行專注于塵埃粒子計數器,浮游細菌采樣器,風量儀等

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