高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家的行業(yè)須知

*氣體使用安全
首先，應(yīng)對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析，通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì)，消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范，對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏，確保系統(tǒng)密閉性。鋼瓶和管道閥門應(yīng)選用隔膜或波紋管密封閥門。管道系統(tǒng)應(yīng)采用焊接系統(tǒng)，機(jī)械接頭均應(yīng)置于抽風(fēng)罩內(nèi)。排放氣體應(yīng)進(jìn)行安全處*體輸送設(shè)備具有緊急切斷功能。操作應(yīng)遵循標(biāo)準(zhǔn)操作規(guī)程。
其次，采用監(jiān)測手段，*事故發(fā)生。設(shè)置氣體泄漏偵測器，監(jiān)控氣體泄漏。可燃性氣體應(yīng)設(shè)置高溫或火焰?zhèn)蓽y器。危險(xiǎn)氣體應(yīng)設(shè)置過流開關(guān)。特氣系統(tǒng)氣柜應(yīng)進(jìn)行負(fù)壓監(jiān)測，防止抽風(fēng)系統(tǒng)的失效。偵測系統(tǒng)應(yīng)與報(bào)警和緊急切斷連鎖。系統(tǒng)還應(yīng)進(jìn)行遠(yuǎn)程監(jiān)控。監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置不間斷電源。
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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測規(guī)定
1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測儀，高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家，其檢測精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向測漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)猓⑦M(jìn)行吹掃。測試完畢后，應(yīng)提交測試報(bào)告。
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試驗(yàn)室供氣需求
目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)猓虼嗽囼?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。
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