無塵室分類的定義標準

無塵車間
為什么芯片制造業要使用無塵潔凈室？
許多人可能不知道，在將硅片放入芯片制造商之前，他們需要一個特別干凈的無塵室。單個晶體管比病毒小很多倍。一粒小灰塵會造成嚴重損壞，燃燒數百萬美元。為了降低這一風險，芯片制造商選擇將制造商放置在基本無灰塵的潔凈室中。杰斐然空氣過濾器將帶您探索無塵室的奧秘。
在芯片制造過程中，任何小顆粒都會對成品率產生很大的影響。若無塵潔凈室提高到較高水平，產量可大大提高。因此，芯片制造業的一項重要技術是無塵車間的清潔度，因此集成電路制造商投入大量精力改善無塵室環境，減少顆粒量。衣柜、衣服和無塵室的程序都有助于提高無塵室的質量。嚴格的無塵室規則有助于隔離污染物，降低成品率。
無塵室有多干凈？
*初的無塵室是為醫院手術室建造的，可以控制術后空氣中感染的細菌污染。半導體工業發展后不久，工程師就意識到控制生產過程中污染物的重要性，因此在制造晶體管和集成電路時采用了無塵室技術。的羅伯特·諾伊斯制造的**個硅集成電路芯片顯示了許多顆粒污染物。
無塵室分類的定義標準：
按公制和英制組合。定義為*十級的無塵室是指直徑大于0的每立方英尺.5um小于10顆粒。一級無塵室必須達到每立方英尺，直徑大于0.5um少于一顆粒。0.25um集成電路芯片廠的*小圖形尺寸需要一級無塵室才能獲得高成品率。相比之下，在一個干凈的房子里，每立方英尺的直徑大于0.5um5萬顆粒。下圖顯示了不同等級無塵室每立方英尺空氣中的顆粒數量。
嚴格控制無塵室的溫度、濕度和氣壓：
無塵室的地板通常是一個非常高的孔框地板，這樣空氣就可以從天花板垂直流向制造和設備區域的底部區域。當氣流返回無塵室時，大部分顆粒將通過顆粒空氣過濾器去除。比100級（fed-std-209e保持線性直線氣流，避免空氣干擾非常重要。空氣擾流將墻壁、天花板、桌子和工具表面的顆粒帶入空氣中，使顆粒不易靜止。但通過線性氣流后，空氣中的顆粒很快就會被氣流帶走。等級100是線性氣流和擾動氣流的分界線，也是無塵室成本的重點。擾動氣流的清潔度可達100級以下，其成本**線性氣流。
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