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電子特氣系統的維護
由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統，因此在生產線現場的維護需要、有經驗的技術員完成。特氣系統的維護主要包含氣體柜維護和管路維護。
（1）特氣柜又分為全自動特氣柜與半自動特氣柜，每種氣柜的維護方法有一定的區別。全自動氣柜維護自動化程度較高，并且。在維護前關閉鋼瓶閥門，設置換瓶吹掃，程序自動進行抽氣，置換等動作，根據氣體性質的不同，一般至少吹掃60次以上，負壓保壓30分鐘以上，確保氣柜各管路與閥門吹掃干凈。
（2）管路的維護，由于不同的氣體性質不一樣，對管路維護的方法也不相同，對腐蝕性氣體的管道需要多次用高純氮氣吹掃（n2purge），一般至少反復30次，高純供氣系統生產廠家，對于有吸附性的液態源氣體，由于管路容易堵塞，需要多次的反復的抽真空，抽完后關閉閥門，1小時后會出現壓力表回表的現象，會造成管道泄漏的誤導，遇到此情況打開真空器發生器繼續抽，直到沒有吸附氣體釋放為止。
以上兩種系統維護后都必須做正壓與負壓的保壓測試，一般正壓保壓壓力為使用壓力的1.2倍，負壓保壓為-12psi，保壓時間至少120分鐘以上，由于壓力傳感器（pt）受溫度的影響，一般有2psi的正負波動。
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小流量氣體凈化系統
高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。
氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學拋光316l不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界*水平。
氣體配比儀采用質量流量計，電化學拋光316l不銹鋼管件，雙卡套或者vcr氣體接頭。
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實驗室供氣系統氣體管路
指氣瓶至儀器終端之間連接管線，一般有氣體切換裝置-減壓裝置-閥門-管線-過濾器-*-終端箱-調節閥等部分組成，輸送氣體為實驗室儀器(色譜、原子吸收等)用氣、高純氣體。
使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個半自動調節閥來控制。所有氣體管路都是高質量的、完全退火、無縫不銹鋼ss-316l。所有氧氣管路都需完全清理干凈，使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調節閥門、壓力表來指示氣體壓力。
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