福州大學離子束刻蝕機順利驗收

烈日炎炎，熱情滿心間！后疫情時代，nano-master工程師步履不停，一站接一站為客戶提供設備安裝調試服務。首站福州大學，那諾-馬斯特工程師已順利安裝驗收nie-3500型離子束刻蝕機！
性能配置：
離子束刻蝕機用于刻蝕金屬和介質，z大可支持6”晶圓。
配套美國考夫曼-羅賓遜 kdc160離子槍，650ma，100-1200v。刻蝕速率：~250a/min對au；刻蝕均勻度：對4”片，片內均勻性**±3%，重復性**±3%。
樣品臺可旋轉，轉速0-30rpm精確可控；可任意角度傾斜，支持斜齒刻蝕；帶水冷功能，刻蝕后易去除光刻膠。
極限真空12小時可達6x10-7torr，15分鐘可達10-6torr量級的真空；采用雙真空計，長期可靠，使用穩定。
14”不銹鋼立方腔體，配套一臺主控計算機，20”觸摸屏監控，配合labview軟件，實現計算機全自動工藝控制，并可在電源中斷情況下安全恢復；完全的安全聯鎖；支持百級**凈間使用。
驗收培訓：
安裝調試視頻：
那諾-馬斯特中國有限公司專注于磁控濺射系統,刻蝕系統,清洗去膠系統等