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智庭科技TMC-3207自動測量金相顯微鏡工具顯微鏡廠家直發

一.儀器主機說明
tmc-3207是我司針對半導體行業推出的一款高性能的全自動測量金相顯微鏡,結合公司多年影像測量和掃描的生產經驗,以及自主研發的三維測量掃描軟件,將設備的高性能、全自動的特點發揮到**。
l支持自動對焦、搖桿操作以及非接觸式光譜共焦位移傳感器測量(選配)。
l軟件具有強大的元素構造、多元測量(自動尋邊、對比測量、局部放大采點)等諸多功能。
l伺服馬達驅動,電機響應速度快。
l全閉環運動控制,具有**的高速運動定位性能。
l精簡化儀器與計算機接口。
l000級花崗石平臺,結構穩定,抗振性強。
l多種光源配合:程控表面led面光源、底部光源及蛇管輔助光源。
l配有專用的三維測量軟件,具有教導功能,可大幅提高測量效率。
l高品質滾珠驅動螺桿與滑軌,機械性能佳。
l500萬像素高清晰數字攝像機和金相鏡頭,保證**的成像質量。
l5x、10x、20x物鏡切換,*大倍率接近1000倍,成像效果**,既可細微觀察亦可高精度測量。
二、技術參數
掃描范圍
xyz三軸移動范圍(mm)
300*200*70
外形尺寸(mm)
900*644*1600
玻璃臺面尺寸(mm)
375*275
臺面承重(kg)
25
儀器凈重(kg)
240
光學影像及測量系統
光學系統
無限遠平場消色差金相顯微光學模組(3目)
金相顯微物鏡倍率
5x
10x
20x
視頻總放大倍率
241.5x
483x
966x
雙目目鏡倍率
標配10x目鏡(視場數φ22mm),也可選配20x目鏡
物方工作距離(mm)
26.1
20.2
8.8
物方視場(mm)
1.47*0.98
0.735*0.49
0.368*0.245
照明光源
上光:led同軸落射冷光源(程控調光)
底光:led平行冷光源(程控調光)
輔光: led光源(程控調光)
攝像機
hikvision 500萬像素高清彩色數字相機
示值誤差(μm)
單視野
±1
xy行程范圍
2.5+l/200
重復精度(μm)
單視野
±0.5
xy行程范圍
2.5
xyz光柵分辨力(μm)
1
掃描測量軟件
zt vision-c(擁有自主知識產權)
其他選配件
光譜共焦位移傳感器、激光位移傳感器、自動變倍金相顯微模組、操作搖桿等
xyz三軸驅動方式
伺服電機+絲桿導軌驅動,三軸全閉環運動控制
電腦
聯想e95/g3930/4g/1t/集成
工作電源
ac200-240v 50/60hz450w(注:需有電阻≤4ω接地線)
工作環境
溫度20±2℃,相對濕30%-80%,振動<0.002g,低于15hz,遠離振源
三、 軟件介紹
說明:隨著軟件的不斷升級與更新,以下所述功能可能與實際版本略有不同,更多的功能請參照軟件本身或咨詢我公司專業技術人員。
影像測量軟件界面簡潔、操作直觀、上手容易、功能強大,用戶可快速高效的完成測量任務。
1)簡潔友好的界面
將主要及常用的功能以按鈕形式放在主界面,易于熟悉掌握,用戶只要簡單的點擊和拖拽鼠標即可完成幾乎所有的測量動作。
2)強大的幾何測量功能
2.1)軟件提供完整的幾何測量功能
可對點、線、圓弧、圓、矩形、橢圓、鍵槽(腰型特征)、開曲線、閉曲線、平面、圓柱、圓錐、球等幾何元素進行測量。當z軸增加測頭或激光位移傳感器等設備后還可對3d圖形元素如圓柱、圓錐、圓球以及三維空間內的面進行測量。根據元素的實際特征,每種元素可采用多種不同的方法測量。尋邊結束即可直接獲取元素的坐標值、長度、面積、體積等數據。
2.2)軟件具備強大的尋邊功能
能夠抓取很弱的邊緣,可任意設定尋邊方向,避免尋邊錯誤,靈活設置尋邊參數,去除雜點及毛邊的影響。
3)自動對焦功能及對焦點測量功能
由軟件自動判定對焦是否*清晰,此功能也可用來測量高度及平面度。
4)方便快捷的應對復雜形狀工件及大批量工件測量
4.1)元素的平移陣列測量
對于等距排列的特征元素,只需人為測量一個元素,即可通過平移陣列功能自動完成所有元素的測量。
4.2)尋邊位置微調功能
在陣列測量時,由于零件加工存在誤差,實際陣列位置和理論位置會產生偏差,此時會出現尋邊不準或尋邊失敗的問題。本軟件通過尋邊位置微調功能有效的解決了該問題,用戶可設定軟件自動根據實際陣列位置來調整尋邊位置。
4.)工件的陣列及陣列宏測量
當測量大批量工件時,只需人為測量一個工件,即可通過工件陣列及陣列宏功能自動完成所有工件的測量。無論單個夾具或者多個夾具都能同時應對,大大節省了時間和提高測量效率。
4.4)導入cad圖形測量功能
可以直接用cad軟件繪制尺寸圖,導入軟件后即可實現自動測量,無需采點尋邊,非常方便對形狀復雜或不規則圖形進行坐標測量和輪廓對比測量。
4.5)對比測量功能
可預設刻度線、角度線、標準圓用以對工件進行對比測量。也可直接在圖像輪廓上拉出尺寸線或角度線動態觀察工件長度、角度、臺階高、直徑等尺寸。
4.6)快捷定位局部特征的地圖導航功能
可用軟件控制機臺將工件整體掃描拼合成為一張圖片,甚至可直接導入拍照獲得的工件圖片,并以該圖片像素點為單位來**定位工件。此功能使機臺迅速自動定位到任意細微的局部位置,特別適用于大尺寸工件定位和具有大量類似特征的工件**定位。
5)自動編制用戶程序,且用戶程序編輯簡單靈活
5.1)軟件根據用戶測量步驟順序自動編制用戶程序,并控制程序的運行停止等。
5.2)可以對用戶程序及每一個步驟進行編輯、排序、插入、刪除等操作,適應各種復雜多變的測量步驟。
5.3)測量大批量工件時,只需進行一次尋邊測量,避免重復動作,省時省力。
6)自動計算元素的形位公差
軟件提供完整的公差設定和計算功能,可設定和計算形位公差如直線度、圓度、平面度、圓柱度、輪廓度、位置度、平行度、垂直度、同心度、圓跳動等,根據公差自動判別ok或ng,并具備ng示警及提示功能。形象化的公差圖表使用戶獲知具體超差位置,方便查找超差原因。
7)多樣化的數據報表及圖形數據導出功能
軟件支持結果數據以多種報表格式(excel、word、txt、pdf)導出,并支持excel報表格式設置,可**輸出位置。
7.1)導出excel報表
7.2)excel導出設置
7.3)導出word及 txt報表
7.4)軟件可導出dxf和igs格式圖形數據,并可直接將圖形用于逆向工程
8)豐富開放的外設連接功能
8.1)支持光譜共焦位移傳感器
8.1.1)簡介
光譜共焦位移傳感器一種精度可達亞微米量級的非接觸式位移測量系統,對于表面漫反射或鏡反射的物體甚至透明材質皆可測量其位移或厚度,基于出光與回傳訊號路徑同軸的特性,它亦適用于深孔、盲孔工件等測量。
8.1.2)原理
8.1.3)應用
8.2)支持機械手等外接設備,并且能將這些設備整合在一起
四、服務承諾
(一)保修期內服務
1.新儀器提供1-2天的培訓服務,保證受訓人員熟練使用我司儀器,儀器自驗收合格之日起免費質保12個月。
2.在質保期內因我方原因造成的儀器故障,我司負責免費維修及更換零配件。
(二)保修期外服務
我司承諾對儀器實行終身維修服務,儀器質保期滿后,也能提供及時、優質、價格優惠的技術服務和備品供應,更換配件只收成本費。
(三)售后服務響應時間
我司采取定期回訪與隨時遠程咨詢相結合的售后服務制度,力求及時發現并解決客戶使用中的困難和問題,如有必要我司將在接到請求后由專業工程師2小時響應,8小時派專業工程師赴現場解決問題,7x24小時提供售后服務支持。
注意: 在拆卸儀器包裝和搬運儀器時必須有我司專業工程師在場。

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